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掃描電鏡加熱原位系統通過(guò)MEMS芯片對樣品施加熱場(chǎng)控制,在原位樣品臺內構建熱場(chǎng)自動(dòng)控制及反饋測量系統,結合EDS、EBSD等多種測試模式,實(shí)現從納米甚至原子層面實(shí)時(shí)、動(dòng)態(tài)監測樣品在真空環(huán)境下隨溫度變化產(chǎn)生的微觀(guān)結構、相變、元素價(jià)態(tài)、微觀(guān)應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關(guān)鍵信息。
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