掃描電鏡液體電化學(xué)原位系統

我們的優(yōu)勢

高分辨率

MEMS微加工工藝，使電化學(xué)芯片視窗區域的氮化硅膜厚度最薄可達10nm，極大減少了對電子束的干擾，液相環(huán)境可達到納米級分辨率。

高安全性

1．市面常見(jiàn)的其他品牌液體樣品桿，由于受自身液體池芯片設計方案制約，只能通過(guò)液體泵產(chǎn)生的巨大壓力推動(dòng)大流量液體流經(jīng)樣品臺及芯片外圍區域，有液體大量泄露的安全隱患。其液體主要靠擴散效應進(jìn)入芯片中間的納米孔道，芯片觀(guān)察窗里并無(wú)真實(shí)流量流速控制。

2．采用納流控技術(shù)，通過(guò)壓電微控系統進(jìn)行流體微分控制，實(shí)現納升級微量流體輸送，原位納流控系統及樣品桿中冗余的液體量?jì)H有微升級別，有效保證電鏡安全。

3．采用高分子膜面接觸密封技術(shù)，相比于o圈密封，增大了密封接觸面積，有效減小滲漏風(fēng)險。

4．采用超高溫鍍膜技術(shù)，芯片視窗區域的氮化硅膜具有耐高溫低應力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點(diǎn)。

多場(chǎng)耦合技術(shù)

可在液相環(huán)境中實(shí)現光、電、熱、流體多場(chǎng)耦合。

智能化軟件和自動(dòng)化設備

1．人機分離，軟件遠程控制實(shí)驗條件，全程自動(dòng)記錄實(shí)驗細節數據，便于總結與回顧。

2．全流程配備精密自動(dòng)化設備，協(xié)助人工操作，提高實(shí)驗效率。

團隊優(yōu)勢

1．團隊帶頭人在原位液相發(fā)展初期即參與研發(fā)并完善該方法。

2．獨立設計原位芯片，掌握芯片核心工藝，擁有多項芯片patent。

3．團隊20余人從事原位液相研究，可提供多個(gè)研究方向的原位實(shí)驗技術(shù)支持。

技術(shù)參數

應用案例

Electrochemical dissolution

Electrochemical deposition