透射電鏡液體光學(xué)原位系統

透射電鏡液體光學(xué)原位系統采用MEMS微加工工藝在原位樣品臺內構建液氛納米實(shí)驗室，通過(guò)樣品臺內置的光纖將光作為外場(chǎng)條件搭載其上，通過(guò)MEMS芯片和光纖引入的光源對樣品施加光場(chǎng)刺激條件，在 進(jìn) 行 光 學(xué) 性 質(zhì) 測 量 的 同 時(shí)，結 合 使 用 E D S、E E LS、S A E D、HRTEM、STEM等多種不同模式，實(shí)現從納米甚至原子層面實(shí)時(shí)、動(dòng)態(tài)監測樣品在液氛環(huán)境中隨光場(chǎng)變化產(chǎn)生的微觀(guān)結構演化、反應動(dòng)力學(xué)、相變、元素價(jià)態(tài)、化學(xué)變化、微觀(guān)應力以及表/界面處的原子級結構和成分演化等關(guān)鍵信息。

我們的優(yōu)勢

業(yè)界最高分辨率

1．MEMS加工工藝，芯片視窗區域的氮化硅膜厚度最薄可達10 nm。

2．芯片封裝采用鍵合內封以及環(huán)氧樹(shù)脂外封雙保險方式，使芯片間的夾層最薄僅約100~200nm，超薄夾層大幅減少對電子束的干擾，可清晰觀(guān)察樣品的原子排列情況，液相環(huán)境可實(shí)現原子級分辨。

3．經(jīng)過(guò)特殊設計的芯片視窗形狀，可避免氮化硅膜鼓起導致液層增厚而影響分辨率。

高安全性

1．市面常見(jiàn)的其他品牌液體樣品桿，由于受自身液體池芯片設計方案制約，只能通過(guò)液體泵產(chǎn)生的巨大壓力推動(dòng)大流量液體流經(jīng)樣品臺及芯片外圍區域，有液體大量泄露的安全隱患。其液體主要靠擴散效應進(jìn)入芯片中間的納米孔道，芯片觀(guān)察窗里并無(wú)真實(shí)流量流速控制。

2．采用納流控zhuanli技術(shù)，通過(guò)壓電微控系統進(jìn)行流體微分控制，實(shí)現納升級微量流體輸送，原位納流控系統及樣品桿中冗余的液體量?jì)H有微升級別，有效保證電鏡安全。

3．采用高分子膜面接觸密封技術(shù)，相比于o圈密封，增大了密封接觸面積，有效減小滲漏風(fēng)險。

4．采用超高溫鍍膜技術(shù)，芯片視窗區域的氮化硅膜具有耐高溫低應力耐壓耐腐蝕耐輻照等優(yōu)點(diǎn)。

多場(chǎng)耦合技術(shù)

可在液相環(huán)境中實(shí)現光、電、熱、流體多場(chǎng)耦合

優(yōu)異的光學(xué)性能

1．一體式激光光源，集成紫外-可見(jiàn)-紅外不同波段并輸出特定波長(cháng)激光，光信號強（最大強度不低于150mW/cm2），可快速連續調節光源強度，響應時(shí)間短（毫秒級）。

2．特殊結構設計，超低光損耗，能量穩定均勻。

智能化軟件和自動(dòng)化設備

1．人機分離，軟件遠程控制實(shí)驗條件，全程自動(dòng)記錄實(shí)驗細節數據，便于總結與回顧。

2.全流程配備精密自動(dòng)化設備，協(xié)助人工操作，提高實(shí)驗效率。

團隊優(yōu)勢

1．團隊帶頭人在原位液相TEM發(fā)展初期即參與研發(fā)并完善該方法。

2．獨立設計原位芯片，掌握芯片核心工藝，擁有多項芯片zhuanli。

3．團隊20余人從事原位液相TEM研究，可提供多個(gè)研究方向的原位實(shí)驗技術(shù)支持。

技術(shù)參數

應用案例